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采用進(jìn)口紫外納秒激光器、自行研發(fā)成絲技術(shù)、聚焦光束直徑小至1-2μm,激光光束質(zhì)量好,高峰值功率、窄脈寬、高脈沖穩定度,聚焦光斑小,加工速度快,熱影響區小確保對面板無(wú)損傷;
采用高精密直線(xiàn)電機平臺和全閉環(huán)光柵檢測控制系統,保證機床的定位和重復精度;
配備高像素CCD 相機,具有圖像自動(dòng)識別、高精度圖像定位動(dòng)能;并可抓各類(lèi)絲印的Mark標(靶標:圓形 十字 菱形 十字加實(shí)心圓),也可以抓工件邊角、倒角、鉆孔等;
配備工業(yè)專(zhuān)用控制電腦,全過(guò)程電腦軟件自動(dòng)控制,操作簡(jiǎn)易,整機性能穩定,可長(cháng)期運行;
采用高剛性結構設計、減震機床腳杯和天然大理石組成的機床基座,既能消除工作臺啟動(dòng)/停止和加速過(guò)程中產(chǎn)生的慣性震動(dòng),也可有效防止因氣候變化溫差引起的床身應力變形;
12年激光微細加工系統研發(fā)設計技術(shù)積淀確保性能穩定,2萬(wàn)小時(shí)無(wú)耗材。
光學(xué)單元 | ||
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序號 | 項目 | 參數 |
01 | 激光器類(lèi)型 | 1064nm納秒 |
02 | 冷卻方式 | 恒溫風(fēng)冷 |
03 | 激光功率 | ≥3W |
04 | 光束質(zhì)量 | M2<1.3 |
05 | 加工頭數 | 四頭 |
06 | 最小聚焦光斑直徑 | Φ1-2μm |
激光加工性能 | ||
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序號 | 項目 | 參數 |
01 | 加工速度 | ≤120mm/s |
02 | 最大加工尺寸&精度 | 750X650mm,±20μm |
03 | CCD定位視覺(jué)精度 | ±3μm |
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