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精度高,聚焦光斑最小可達10um,切割邊緣無(wú)毛刺
冷加工,采用納秒紫外激光器,冷光源,激光切割熱影響區小至10um
速度快, CCD視覺(jué)預掃描,自動(dòng)抓靶定位,機器人自動(dòng)上下料,切劃IC指紋識別芯片,單粒耗時(shí)3S
節能環(huán)保,2萬(wàn)小時(shí)無(wú)耗材,機械手全自動(dòng)上下料系統,節省人力成本
序號 | 項目 | 參數 |
---|---|---|
01 | 激光器類(lèi)型 | 355nm |
02 | 激光功率 | 15W-25W |
03 | 光束質(zhì)量 | M2<1.3 |
04 | 最小聚焦光斑直徑 | 10μm |
05 | 加工速度 | 100-1500mm/s可調 |
06 | 加工材料厚度 | 1mm-2mm |
07 | 最大加工尺寸&精度 | 300mm*350mm,±5μm |
08 | 機床運動(dòng)軸數&種類(lèi) | 最多8軸,XYZ軸運動(dòng) |
09 | 平臺最大行程&速度 | 500mm*350mm,800mm/s |
10 | 運動(dòng)平臺重復精度 | ≤±1μm |
11 | 運動(dòng)平臺定位精度 | ≤±3μm |
12 | CCD視覺(jué)定位精度 | ±3μm |
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